ASML peut désactiver les machines EUV à distance il parait https://www.bloomberg.com/news/articles/2024-05-21/asml-tsmc-can-disable-chip-machines-if-china-invades-taiwan
Le bombardement serait une sécurité en plus, mais pas spécialement nécessaire.
A voir ou peut aller le reverse engineering sur ces machines, qui sont surement les plus complexes que l'homme ai jamais crées.